高温压力传感器

　　高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。

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高温压力传感器

高温压力传感器|耐高温压力传感器|超高温压力传感器

高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。目前，研究比较多的高温压力传感器主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半导体传感器，还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。半导体电容式压力传感器相比压阻式压力传感器其灵敏度高、温度稳定性好、功耗小，且只对压力敏感，对应力不敏感，因此，电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。
高温压力传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术，在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起，形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器。

工作原理
高温压力传感器的工作原理风压传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

产品应用
高温压力传感器广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉，熔炉等众多行业。

产品特性
1.传感器：能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。
①敏感元件是指传感器中能直接（或响应）被测量的部分。
②转换元件指传感器中能较敏感元件感受（或响应）的北侧量转换成是与传输和（或）测量的电信号部分。
③当输出为规定的标准信号时，则称为变送器。
2. 测量范围：在允许误差限内被测量值的范围。
3. 量程：测量范围上限值和下限值的代数差。
4. 精确度：被测量的测量结果与真值间的一致程度。
5. 重复性：在所有下述条件下，对同一被测的量进行多次连续测量所得结果之间的符合程度：
6. 分辨力：传感器在规定测量范围圆可能检测出的被测量的最小变化量。
7. 阈值：能使传感器输出端产生可测变化量的被测量的最小变化量。
8. 零位：使输出的绝对值为最小的状态，例如平衡状态。
9. 激励：为使传感器正常工作而施加的外部能量（电压或电流）。
10. 最大激励：在市内条件下，能够施加到传感器上的激励电压或电流的最大值。
11. 输入阻抗：在输出端开路时，传感器输入端测得的阻抗。
12. 输出：有传感器产生的与外加被测量成函数关系的电量。
13. 输出阻抗：在输入端短路时，传感器输出端测得的阻抗。
14. 零点输出：在市内条件下，所加被测量为零时传感器的输出。
15. 滞后：在规定的范围内，当被测量值增加和减少时，输出中出现的最大差值。
16. 迟后：输出信号变化相对于输入信号变化的时间延迟。
17. 漂移：在一定的时间间隔内，传感器输出终于被测量无关的不需要的变化量。
18. 零点漂移：在规定的时间间隔及室内条件下零点输出时的变化。
19. 灵敏度：传感器输出量的增量与相应的输入量增量之比。
20. 灵敏度漂移：由于灵敏度的变化而引起的校准曲线斜率的变化。
21. 热灵敏度漂移：由于灵敏度的变化而引起的灵敏度漂移。
22. 热零点漂移：由于周围温度变化而引起的零点漂移。
23. 线性度：校准曲线与某一规定只限一致的程度。
24.非线性度：校准曲线与某一规定直线偏离的程度。
25.长期稳定性：传感器在规定的时间内仍能保持不超过允许误差的能力。
26. 固有凭率：在无阻力时，传感器的自由（不加外力）振荡凭率。
27. 响应：输出时被测量变化的特性。
28. 补偿温度范围：使传感器保持量程和规定极限内的零平衡所补偿的温度范围。
29. 蠕变：当被测量机器多有环境条件保持恒定时，在规定时间内输出量的变化。
30. 绝缘电阻：如无其他规定，指在室温条件下施加规定的直流电压时，从传感器规定绝缘部分之间测得的电阻值。

相关参数
量程： -0.1～0～1～150(MPa) 综合精度：0.25%FS、0.5%FS
输出信号： 4～20mA(二线制)、0～5V、1～5V、0～10V(三线制)
供电电压： 24DCV(9～36DCV)
介质温度： -20～800℃
环境温度：常温(-20～85℃)
零点温漂移： ≤±0.05%FS℃
量程温度漂移： ≤±0.05%FS℃
补偿温度： 0~70℃
安全过载： 150%FS
极限过载： 200%FS
响应时间： 5 mS(上升到90%FS)
负载电阻：电流输出型：最大800Ω；电压输出型：大于5KΩ
绝缘电阻：大于2000MΩ (100VDC)
密封等级： IP65
长期稳定性能： 0.1%FS/年
振动影响：在机械振动频率20Hz～1000Hz内，输出变化小于0.1%FS

产品选型
1、测量的是何种压力。
2、所测量的介质。在选择高温熔体压力传感器时需要考虑的关键因素是所测量的介质。
3、需要达到什么样的精度。
4、此高温压力传感器的耐温性、互换性、时间稳定性和坚固程度。
5、此高温压力传感器使用何种输出，需要的激励电压，以及怎样将传感器连接到自己的电气系统中。

发展方向
1、向高精度发展
2、向高可靠性、宽温度范围发展
3、向微型化发展
4、向微功耗及无源化发展
5、向智能化数字化发展